uv光解膠在晶圓切割中的應(yīng)用
在晶圓業(yè)界加工(研磨、切割)會(huì)使用到一款blue tape的膜材，目前大多是日本品牌日東的佔(zhàn)有率較高。
uv5886是膠水，需搭配涂佈廠（保護(hù)膜生產(chǎn)廠）加工成膜后才可算是成品。
目前大陸在晶圓切割都是使用blue tape，但是晶圓研磨目前工藝都還是使用蠟塊加熱后融化將晶圓置上，再進(jìn)行研磨加工。待研磨至所需厚度后，在一次加工蠟塊并取下晶圓。未來因環(huán)保問題，蠟會(huì)被取代掉，所以blue tape將會(huì)有更大的需求。
工藝：涂佈廠：將uv-5886使用涂佈設(shè)備涂佈於pet膜上，經(jīng)過烘箱80度c,1分鐘。后段加上離型膜即可收卷。會(huì)出現(xiàn)psa黏著特性(類似膠帶)，經(jīng)測試強(qiáng)度可達(dá)1200 g / in2
使用端：將成膜的uv off(業(yè)界稱blue tape)離型膜撕除，將晶圓黏貼於膜上，經(jīng)過研磨加工后，照射uv光約10秒鐘即可解膠，將晶圓取下。
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